基于ZnO半导体的电调谐滤波器研究.docxVIP

摘 要 PAGE V 西安交通大学本科毕业设计（论文） PAGE VI 摘 要 声表面波（SAW）器件由于在激励、传播、截取声表面波方面具有很高的便利性，目前已在通信、信号处理、日常消费等领域被成为了研究的热门。此外，声表面波器件还具有性能稳定、可重复性好、适合批量生产等优点。而声表面波器件的频率可调谐性在增加器件的功能性、灵活性等方面有着重要作用。本文通过向声表面波器件中引入ZnO半导体层的方式，来实现一种频率可调谐的声表面波器件，并通过控制外加电压的方法对声表面波的频率进行调制。本文采用有限元仿真的方式，对声表面波器件进行了建模和仿真，建立了一个通过ZnO薄膜晶体管对声表面波器件