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- 2023-10-21 发布于四川
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本发明公开了一种基于磷化铟单晶生产过程炉温大数据驱动热场控制的方法，包括:获取磷化铟单晶生产炉炉内实测温度数据；将获取的温度数据进行归类计算，得出降温速率；将计算所得的数据进行归类分析，建立数据库并结合数据驱动系统，根据现有温度预测生产所需最优温度，建立最优温度预测模型；通过预测模型预测磷化铟单晶生长每个环节所需的最佳温度，提前给出最优控制输入策略。每完成新一轮单晶生长之后，将该轮数据统计收集归纳进数据库，使形成动态数据库。本方法利用磷化铟单晶生产过程中的温度数据，分析不同温度下晶体生长的规律并
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116905089 A
(43)申请公布日 2023.10.20
(21)申请号 202310852074.7
(22)申请日 2023.07.12
(71)申请人 昆明理工大学
地址 650500
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