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- 2023-10-22 发布于四川
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本实用新型提供一种成膜用立式载板。所述成膜用立式载板包括载板盘体，所述载板盘体上针对每片硅片设置一个承载区，每个承载区周边设置有多个限位件，每个限位件包括设置在所述载板盘体上的基座、设置在所述基座上的四叶形旋钮、设置成依次穿过所述四叶形旋钮以及基座的销轴，所述销轴与四叶形旋钮之间还设置有弹性件，固定件穿过载板盘体并连接至所述销轴的底部从而将限位件固定在所述载板盘体上，所述四叶形旋钮能沿销轴转动并通过其叶片进入或离开所述承载区而对应阻挡或不阻挡其承载的硅片。本实用新型能降低在载板中取放硅片时硅片的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219861566 U
(45)授权公告日 2023.10.20
(21)申请号 202320953079.4
(22)申请日 2023.04.24
(73)专利权人 理想万里晖半导体设备（上海）股
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