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行星锅的取放装置.pdfVIP

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  • 2023-10-22 发布于四川
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行星锅的取放装置.pdf

    本实用新型提供了一种行星锅的取放装置。该取放装置用于在支撑座或操作台上取放行星锅，包括套筒，套筒的第一端支撑行星锅，套筒的第二端支撑在支撑座或操作台上，套筒内设置有弹性部件，取放装置与支撑座或操作台接触时，支撑座或操作台接触并挤压弹性部件，弹性部件可以提供缓冲力，从而在取放行星锅时可以减轻行星锅的震动，减少晶片裂纹缺口，提高产品良率。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219861567 U (45)授权公告日 2023.10.20 (21)申请号 202321259845.3 (22)申请日 2023.05.23 (73)专利权人 绍兴中芯集成电路制造股份有限

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