电弧离子镀氮化铝薄膜的光学及表面性能研究.pdfVIP

摘 要 关于AlN 的研究，已经有超过半个世纪的时间。随着材料制备技术的发展， AlN 薄膜应用越来越广泛。例如AlN 薄膜的禁带宽、耐热高、光学性能好，可作为 光学材料，用它制造各种光学器件。AlN 薄膜具有优良的介电性能，是一种优异的 绝缘薄膜，特别适用于高温绝缘。除此之外，AlN 薄膜还有优良的压电性能，是压 电器件的优选材料，是表声波(SAW)器件的首选材料。高质量的AlN作为光学材料 有着独特的优势，在光学薄膜器件上有很好的应用前景。因此对于AlN 薄膜的透 射率、光学常数、表面的防水、防腐