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1扫描电镜原理
和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:
(一) 能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mmx80mmx50mmo
(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。
(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观 察。
(四) 景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几 十倍。
(五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从 放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可 达 3nm。
(六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。
(七) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。
二.扫描电镜的结构和工作原理
(一) 结构
1 .镜筒
镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束直径约几个nm), 并且使该电子束在样品表面扫描,同时激发出各种信号。
电子信号的收集与处理系统
在样品室中,扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号,其中包括二次电子、背散射 电子、X射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中,最主要的是二次电子,它 是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子,产生于样品表面以下几nm至
几十nm的区域,其产生率主要取决于样品的形貌和成分。通常所说的扫描电镜像指的就是 二次电子像,它是研究样品表面形貌的最有用的电子信号。检测二次电子的检测器(图15(2) 的探头是一个闪烁体,当电子打到闪烁体上时,1就在其中产生光,这种光被光导管传送到 光电倍增管,光信号即被转变成电流信号,再经前置放大及视频放大,电流信号转变成电压 信号,最后被送到显像管的栅极。
电子信号的显示与记录系统
扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个 用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的 管子。
真空系统及电源系统
扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到10(4?10(5托的真 空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。
(二) 工作原理
从电子枪阴极发出的直径20(m?30(m的电子束,受到阴阳极之间加速电压的作用,射向 镜筒,经过聚光镜及物镜的会聚作用,缩小成直径约几毫微米的电子探针。在物镜上部的扫 描线圈的作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描并且激发出多种电子信号。这些电子信 号被相应的检测器检测,经过放大、转换,变成电压信号,最后被送到显像管的栅极上并且 调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样 品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子 像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。第二节扫描电镜生物样品制备技术大多数生物 样品都含有水分,而且比较柔软,因此,在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。 扫描电镜样品制备的主要要求是:尽可能使样品的表面结构保存好,没 有变形和污染,样品干燥并且有良好导电性能。
一、扫描电子显微镜的工作原理2
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信 号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子 枪发射的能量为5?35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩 小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试 样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子 发射(以及其它物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测 器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显 像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
LA样合扫描电镜工作原理拧描发牛耽此电信厝件押橘线阍灯村一第一一聚咒镜视睇放大器第-襟光镜扣描垛期
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扫描电镜工作原理
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原子吸收原理
原子吸收是一个受激吸收跃迁的过程。当有辐射通过自由原子蒸气,且入射 辐射的频率等于原子中外层电子由基态跃迁到较高能态所需能量的频率时,原子 就产生共振吸收。原子吸收分光光度法就是根据物质产生的原子蒸气对特定波长
光的吸收作用来进行定量分析的。和可见区。原子吸收光的波长通常在紫外共振吸收
光的吸收作用来进行定量分析的。
和可见区。
原子吸收光的波长通常在紫外
共振吸收
当光源发射的某一特征波长的辐射通过原子蒸气时,被原子中的外层电 子选择性地吸收,使透过原子蒸气的入射辐射强度减弱,
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