一种硅片切口抛光装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约5.71千字
约 7页
2023-10-25 发布于四川
举报
版权申诉

一种硅片切口抛光装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及硅片抛光领域，涉及一种硅片切口抛光装置，本实用新型包括底座、转动组件和抛光组件，转动组件包括左轴承座、右轴承座、伺服电机、旋转板和真空吸附台，左轴承座通过左转轴转动设置于底座左侧，右轴承座通过右转轴转动设置于底座右侧，旋转板两侧分别固定于左轴承座与右轴承座底面，真空吸附台设置于旋转板上端，伺服电机连接右转轴，左转轴与右转轴的中心与晶圆的厚度中心线重合，晶圆的边缘与左转轴与右转轴中心线相切，抛光组件包括左抛光轮和右抛光轮，左抛光轮正对切口设置，右抛光轮设置于左抛光轮右侧，通过转动组件

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219882162 U (45)授权公告日 2023.10.24 (21)申请号 202320680086.1 B24B 55/03 (2006.01) (22)申请日 2023.03.