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本发明公开了一种芯片夹具的保养方法及辅助装置，涉及到集成电路技术领域，其包括：日常保养S100，芯片夹具每使用一万次进行一次日常保养S100；精细保养S200，芯片夹具每使用五十万次进行一次精细保养S200；本发明通过日常保养S100对芯片夹具进行日常的保养，去除芯片夹具外部裸露位置的污物，以及去除粘连污物比较频繁的探针进行清理，当芯片夹具使用次数达到五十万次后，通过精细保养S200将芯片夹具分拆，并且将体型较小的探针与芯片夹具其他零部件分开进行清洁，并通过显微镜观察各零部件状态，及时更换损坏的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116921288 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310938630.2
(22)申请日 2023.07.27
(71)申请人 无锡伟测半导体科技有限公司
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