白光光源中心波长的测量装置.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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白光光源中心波长的测量装置.pdf

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本公开描述一种白光光源中心波长的测量装置，包括发生模块、干涉物镜、采样模块、以及数据处理模块；发生模块用于经干涉物镜向待测样品发出测量光束，测量光束经待测样品反射在干涉物镜中形成反射光束；采样模块采集反射光束以获得用于形成关于待测样品的多帧图像的光干涉信号；数据处理模块用于：构建光干涉信号的信号强度和多帧图像的采样帧数的关系曲线；并且得到多帧图像的图像帧序和在每帧图像处关系曲线的相位的拟合斜率，根据拟合斜率求出光源的中心波长。由此，能够在测量装置上直接测量白光光源的中心波长，能够提升测量的效率和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116929572 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310919910.9 (22)申请日 2023.05.06 (62)分案原申请数据 202310501801.5