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本发明公开了一种基于棘齿的单驱动器尺蠖式压电步进电机，包括底座，所述底座上设有棘齿形微结构，所述棘齿形微结构内侧设有驱动齿，所述驱动齿的一端连接预紧弹簧，所述预紧弹簧的一端连接中间连接块，所述中间连接块的内侧连接纵向压电直线驱动器。本发明采用上述的一种基于棘齿的单驱动器尺蠖式压电步进电机，实现了电机的自锁功能，不同于传统的压电尺蠖电机需要多个压电驱动器配合实现单步的精确驱动，本压电尺蠖电机仅需要一个驱动器便可实现驱动，有效提高了实用性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116938033 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310679752.4
(22)申请日 2023.06.09
(71)申请人 哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工
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