一种Micro LED芯片测试方法及装置.pdfVIP

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本发明提供一种MicroLED芯片测试方法及装置,方法包括提供一基板,在基板上制备两通孔,并在基板上沉积导电金属层;刻蚀导电金属层,以在基板上形成电极总线;在基板上涂覆绝缘保护层,并在绝缘保护层上开设若干测试孔,以漏出预设位置的电极总线;在测试孔上沉积测试电极,使测试电极与待测芯片电极一一对应并贴合;采用激光照射待测芯片,得到待测芯片的发光信息,并通过测试电极测量待测芯片的电压信号及电流信号;将测试电极的阴极和阳极分别汇总到阴极总线、阳极总线,并将阴极总线与阳极总线接入测试信号源,以测试电压信

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116930720 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202311025256.3 (22)申请日 2023.08.15 (71)申请人 江西兆驰半导体有限公司 地址 3

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