原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备以及计算机可读存储介质，该方法中，在自学习模式运行的情况下，进入探测状态，控制压力调节阀的运动部件自第一极限位置移动至第二极限位置，并控制运动部件分步移动，且获取和存储第一极限位置和第二极限位置对应的腔室压力、每个第一记录点对应的运动部件位置和腔室压力；进入记录状态，将实际压力范围与学习压力范围进行对比，获取范围较小的一者的两个端值；获取范围较小的一者的两个端值分别对应的第一端值位置和第二端值位置；控制运动部件分步移动，且获取和存储每个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116931611 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310919922.1
(22)申请日 2023.07.25
(71)申请人 北京七星华创流量计有限公司
地址
文档评论（0）