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本发明涉及光电材料与器件技术领域，尤其涉及一种基于高阶奇异点的传感器及其制备方法，传感器包括光学微腔、介质波导和光电探测器；光学微腔的数量若干且结构相同；每个光学微腔到介质波导的距离相等，相邻光学微腔之间的距离相等；光学微腔被激光器发出的圆偏振光激发后产生相同的手性模式，光学微腔间通过介质波导发生单向耦合，在系统内产生用于对扰动进行反馈的高阶奇异点，奇异点的阶数仅由相同光学微腔的数量决定；光电探测器设于介质波导的输出端用于接收光谱。本发明基于高阶奇异点对于微小扰动进行有效反馈，增加传感器的灵敏度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936655 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310923689.4 H01L 31/18 (2006.01)
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