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本发明提供一种阻抗匹配方法、装置和介质，该方法包括：前端数字化射频检测单元通过脉冲包络信号采样，检测射频电源的实时电压值、实时电流值及电压与电流的相位差；逻辑控制单元实时计算第一反射系数；当第一反射系数超出阈值时，调整电容极板的初始位置；当第一反射系数未超出阈值时或重复执行上述步骤预设次数时，逻辑控制单元计算当前射频电源的电信号参数，并根据反射校准参数获取电信号参数的误差值；逻辑控制单元根据误差值计算马达的转速，计算第二反射系数；逻辑控制单元确认第二反射系数小于阈值时，阻抗匹配完成。该方法用于在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116936328 A
(43)申请公布日 2023.10.24
(21)申请号 202310929943.1
(22)申请日 2023.07.26
(71)申请人 江苏神州半导体科技有限公司
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