《基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法》征求意见稿.pdfVIP

ICSXX.XXX.XX XXX 团体 标 准 T/CSTMXXXXX-201X 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法 TestingMethodofOpticalConstantsfor ThinFilmsBasedOnPhoto-metricMethod （征求意见稿） 201X-XX-XX 发布 201X-XX-XX 实施 中关村材料试验技术联盟 发布 T/CSTM XXXXX-2019 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法 1 范围 本标准规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的的测试