一种简化制备霍尔棒的光刻方法.pdfVIP

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2023-10-25 发布于四川
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一种简化制备霍尔棒的光刻方法.pdf

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本发明公开一种简化制备霍尔棒的光刻方法，具体步骤包括：制备薄膜、旋涂、前烘、曝光、中烘、显影、一次水洗、后烘、制备薄膜、二次水洗。本发明在传统步骤中旋涂光刻胶之前生长一层易溶于水的铝酸锶薄膜层，然后使用蒸馏水将铝酸锶薄膜层洗掉制得霍尔棒，省去了传统光刻中的去胶，降低了制造成本以及减少了多重曝光和多重刻蚀繁琐步骤，使操作更加简便快捷，同时本方法在传统光刻步骤基础上省去了刻蚀一步，减少了化学药品的腐蚀，安全环保同时也能大大降低成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116931375 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202310971211.9 G03F 7/30 (2006.01)