高速钢刀具涂层设计.docxVIP

摘 要 本文采用空心阴极与多弧离子离子镀复合沉积设备，运用空心阴极辅助多弧离子镀技术，在W6Mo5Cr4V2高速钢基体上镀制TiN、TiAlN 、TiSiN涂层。对涂层的制备原理进行了深入研究，同时对所得涂层的相关性能进行了分析与讨论。本实验通过使用XRD物相分析衍射仪检测了涂层的物相组成；使用激光共聚焦观察了涂层的表面微观形貌；使用材料表面微纳米力学测试系统的多个程序分别对TiN、TiAlN 、TiSiN涂层进行了硬度测量、弹性模量测量、膜基结合力检测。 研究结果显示，TiAlN 、TiSiN涂层相比与TiN涂层，在硬度、抗摩擦磨损性能等方面都进行了优化，Al和Si原子的加入对材料进行了强