集成电路的基本制造工艺.pptxVIP

上节课内容要点双极集成电路的基本工艺双极集成电路中元件结构 2023/10/27pn+n-epin+P-Sin+-BLCBESP+P+双极集成电路的基本工艺 2023/10/27P-SiTepiCBEpn+n-epin+P-SiP+P+Sn+-BLTepiAA’TBL-uptepi-oxxmcxjc四层三结结构的双极晶体管双极集成电路中元件结构 2023/10/27ECB 相关知识点隐埋层的作用、电隔离的概念、寄生晶体管 本节课内容 MOS集成电路的工艺 P阱CMOS工艺 BiCMOS集成电路的工艺 N阱CMOS工艺 双阱CMOS工艺 2023/10/27MOS晶体管的动作 MOS晶体管实质上是一种使电流时而流过，时而切断的开关n+n+P型硅基板栅极（金属）绝缘层（SiO2）半导体基板漏极源极N沟MOS晶体管的基本结构源极(S)漏极(D)栅极(G)MOSFET的基本结构 2023/10/27silicon substratesourcedraingateoxideoxidetop nitridemetal connection to sourcemetal connection to gatemetal connection to drainpolysilicon gatedoped siliconfield oxidegate oxideMOS晶体管的立体结