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一种碳化硅磨料及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种碳化硅磨料及其制备方法.pdf

    本发明涉及碳化硅制备技术领域，特别涉及一种碳化硅磨料及其制备方法。本发明实施例提供了一种碳化硅磨料的制备方法，包括：将石英砂、碳源和金属铝混合均匀，得到混合物；对所述混合物进行煅烧处理，得到所述碳化硅磨料。本发明实施例提供了一种碳化硅磨料及其制备方法，能够提供一种高硬度的碳化硅磨料。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116948601 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310946430.1 (22)申请日 2023.07.28 (71)申请人 北京晶格领域半导体有限公司 地址

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