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成膜装置和成膜方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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成膜装置和成膜方法.pdf

    本发明的实施方式涉及能够缩短成膜时间的成膜装置和成膜方法。实施方式的成膜装置具备：包含侧壁的腔室；设在腔室上部的喷淋头；设在腔室中并用于保持基板的保持器；向喷淋头供给第1气体的第1气体供给管；设在第1气体供给管上的第1阀；设在腔室的除喷淋头以外的区域上的气体供给部；向气体供给部供给第2气体的第2气体供给管；设在第2气体供给管上的第2阀；从腔室排出气体的气体排出管；以及与气体排出管连接的排气装置。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116949427 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310088366.8 (22)申请日 2023.02.09 (30)优先权数据 2022-071288 202

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