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2023-10-28 发布于四川
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本发明在一个方式中提供一种蚀刻液组合物，其能够减少蚀刻不均。本发明在一个方式中涉及一种蚀刻液组合物，其用于对含有至少1种金属的被蚀刻层进行蚀刻，上述蚀刻液组合物含有蚀刻抑制剂、至少包含硝酸的酸、及水，且pH值为1以下，上述蚀刻抑制剂是选自聚亚烷基亚胺及含有源自二烯丙胺的结构单元的聚合物中的至少1种含氮化合物。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116964719 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202180095498.2 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任