1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

加热装置和气相沉积设备.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约2.19万字
  • 约 19页
  • 2023-10-28 发布于四川
  • 举报

加热装置和气相沉积设备.pdf

    本发明提供了一种加热装置和气相沉积设备。所述加热装置包括加热组件、外隔热部和外圈反射部；所述加热组件包括加热部和支撑部。由于所述加热组件外围设有所述外隔热部，加强了保温效果，有利于提高加热装置所加热的载片装置能达到的温度上限，且能大幅度降低加热装置的能耗；为减少或避免所述加热部的外圈加热区温场和内圈加热区温场相互影响而不利于温场均匀性，将所述外圈反射部围设于所述支撑部顶面的与所述加热部的外圈加热区域相对应的外圈区域，以通过反射所接收到热量来减少或避免所述外圈加热区温场和所述内圈加热区温场之间相互

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116949430 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310955400.7 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人 楚赟精工科技（上海）有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >