坩埚、蒸发源、蒸发方法、蒸发系统和制造装置的方法.pdfVIP

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2023-10-28 发布于四川
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坩埚、蒸发源、蒸发方法、蒸发系统和制造装置的方法.pdf

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描述了一种蒸发材料的坩埚。坩埚包括被配置以容纳待蒸发材料的第一材料隔室、加热第一材料隔室的第一加热器、被配置以容纳待蒸发材料的第二材料隔室和加热第二材料隔室的第二加热器。提供了一个蒸气引导隔室。蒸气引导隔室具有第一开口，所述第一开口提供在第一材料隔室与蒸气引导隔室之间的第一流体连通路径，并且具有第二开口，所述第二开口提供在第二材料隔室与蒸气引导隔室之间的第二流体连通路径。此外，蒸气引导隔室具有能连接到蒸气分配器的第三开口。坩埚进一步包括用于加热蒸气引导隔室的第三加热器。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116964240 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202180093953.5 (51)Int.Cl .