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一种压电谐振器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-10-28 发布于四川
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一种压电谐振器及其制备方法.pdf

    本申请提供一种压电谐振器及其制备方法，其中，该压电谐振器包括沿延伸面分布的谐振区域和梁区域，该压电谐振器包括：基底，基底包括对应谐振区域和梁区域的腔体、以及对应谐振区域的通孔，通孔连通腔体和外部空间；压电组件，压电组件设置于对应梁区域的基底上。通过上述方式，简化了压电谐振器的结构，从而降低了压电谐振器的制作成本。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116961612 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202310677828.X (22)申请日 2023.06.08 (71)申请人 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 地址

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