2023年化学气相沉积设备相关行业项目成效实现方案.docx

化学气相沉积设备相关行业项目成效实现方案 PAGE 1 化学气相沉积设备相关行业项目成效实现方案 目录 TOC \h \z 8957 序言 3 4046 一、土建工程说明 3 19410 (一)、建筑工程设计原则 3 24722 (二)、化学气相沉积设备项目工程建设标准规范 4 5978 (三)、化学气相沉积设备项目总平面设计要求 6 26010 (四)、建筑设计规范和标准 6 28168 (五)、土建工程设计年限及安全等级 7 23139 (六)、建筑工程设计总体要求 8 9935 (七)、土建工程建设指标 9 26049 二、化学气相沉积设备概述