类金刚石薄膜沉积、微结构及力学性能分子动力学模拟研究的中期报告.docxVIP

类金刚石薄膜沉积、微结构及力学性能分子动力学模拟研究的中期报告 本研究旨在通过分子动力学模拟，研究类金刚石（DLC）薄膜沉积过程中的微结构和力学性能。本中期报告将介绍前期已完成的工作和后续的研究计划。 一、前期工作 1. 建立DLC模型 通过使用Materials Studio软件建立了类金刚石（DLC）模型，包含碳原子和氢原子。采用COMPASS力场作为分子动力学模拟力场。 2. 模拟沉积过程 以衬底上的模型原子为种子，模拟DLC薄膜的沉积过程。通过改变沉积速度和沉积温度等条件，研究DLC沉积过程中的微观结构和性质。 3. 分析微结构 通过分析DLC薄膜的密度、晶体结构和缺陷等因素，研究了DLC沉积过程中薄膜的微结构变化。 二、后续计划 1. 研究DLC薄膜的机械性能 通过模拟DLC薄膜受力情况下的应力、应变和弹性模量等性质，研究DLC薄膜的机械性能。 2. 研究DLC薄膜的摩擦性能 通过模拟DLC薄膜在表面摩擦时的摩擦系数和摩擦力等性质，研究DLC薄膜的摩擦性能。 3. 改变模拟条件 改变模拟条件如温度、压力等参数，进一步探究DLC沉积过程中的微观结构和性质。 以上是本项目的中期报告，我们将继续深入研究，为DLC薄膜的应用提供可靠的理论支持。