指导培训资料.pptxVIP

October 31, 2023OPTORUN CO., LTD. http://www.optorun.co.jp1F工番操作指导培训资料光驰科技（Optorun） 主要内容October 31, 2023OPTORUN CO., LTD. http://www.optorun.co.jp2一. F工番装置的构成二. ACSSP自动成膜软件介绍三. AR+AS自动成膜标准流程 a. batch and batch模式(即半自动模式） b. AUTO RUN 模式（即全自动模式）四 .成膜注意事项及异常处理五. 附加补充说明 一.F工番装置的构成October 31, 2023OPTORUN CO., LTD. http://www.optorun.co.jp3M21CLDV机械泵+罗茨泵分子泵*4ICP*2Target*3Process室（即PR室）Load-Lock室（即LL室）机械泵+罗茨泵Sputter装置AS室M11M12M13搬送传动机构HV31 HV32Cassette移动定位马达升降控制马达Holder推送马达LL室 粗抽泵组PR室 粗抽泵组PR室 细抽泵组等离子体产生，离化O2和N2靶材，Si靶旋转机构，DrumAS载台推送气缸AS室与PR室分断阀门上下两个陶瓷加热器HV34AS蒸发喷嘴加热器 二.ACSSP自动成膜软件介绍O