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静电防护基础知识 审核：尹纪兵 2008年2月20日 培训内容 1 ● 静电防护的重要性 2 ●静电及其防护基本概念 3 ●静电危害 4 ●静电防护 1 ● 静电防护的重要性 1.随着科技进步，超大规模集成电路广泛应用。 2.由于元器件尺寸的变小和芯片内部的氧化膜变薄，使器 件承受静电放电的能力下降。 3 .元器件的储存，贴装，焊接，测试直到包装等工序可 能 发生因静电放电造成对器件的损害。 4 防静电保护区 (EPA：Electrostatic Protection Area) 由防静电器材建造和装配起来，能防止静电 释放产生的损害并作出明显标记的供经过培 训的人员操作ESDS 产品的区域。 5 接地(Grounding) 电气连接到能供给或接受大量电荷的物体(常 指大地)。 6 接地点(EBP: Earth Bounding Point) 接地连接点 2 . 2 静电的产生 1 摩擦起电(由物体的接触摩擦产生静电) 2 剥离起电(相互密切结合的物体剥离) 3 断裂带电(材料因机械破裂使带电粒子分开) 4 高速运动中的物体(高速运动的物体表面与空 气摩擦带电) 3 ● 1 静电危害 A：静电吸附 元器件制造过程中由于二氧化硅等材料易吸附空气中的带电微粒导致半导体 击穿失效； B：静电击穿和软击穿 静电放电对静电敏感器件损害的主要表现，一是硬击穿，造成整个器件的失效 和损坏；二是软击穿，造成器件的局部损伤，降低了器件的技术性能，而留下 不易被人们发现的隐患，以致设备不能正常工作。 4 ● 1 典型ESD控制工作系统 1. 防ESD地面 2. 防ESD台面 3. 防ESD设备周转、包装、运输材料 4. 防ESD腕带插孔 5. 个人ESD防护用品(腕带、脚环、工服、手套等) 6. 可靠的接地系统 4 ● 静电防护 EOS防护地垫 建筑地面 共地点 手腕 地 EOS防护料盘.料盒 EOS防护台面 4 ● 2 防静电手腕带 1 所有与静电释放敏感产品和设施有直接接 触的人员在SMT生产中必须佩戴腕带； 2 作业员在每班开始前必须用腕带测试仪检 查其连续使用性,并在ESD日检表上作记录。 发现有不合格的须立即进行更换，直到检 测合格为止。 佩戴防静电手腕带注意事项 1 手腕带必须贴紧皮肤，不要戴在衣服或手套上； 2 皮肤干燥的员工，如果测试失败，可在再次测试 前，在戴手腕带处抹一些专用皮肤霜，以增加皮肤 的导电性； 3 有手腕带接地点的工位，在不影响操作的前提下， 必须使用手腕带。对转件员及上料员因无法使用手 腕带，这些员工要使用防静电工作手套； 4 员工在 防静电保护区 内工作时，提倡尽可能使用 手腕带。 4 ● 3 防静电工作鞋 1. 除电工外，所有进入生产作业区的人员，必须 穿工作鞋。电工因工作需进入生产作业区时，应 尽量在距离防静电保护区 1.5米的区域内活动，工 作完成后不得在生产作业区内逗留； 2. 除电工外，所有工作人员每日在进入生产作业 区前，必须用静电鞋测试仪检查其连续使用性， 并在ESD日检表上作记录。 4 ● 4 防静电工作服 1. 除电工外，所有进入生产作业区的人员， 必须穿工作服。发长过衣领的员工在进入生 产作业区前，应盘或扎起头发，使发梢高于 衣领，必要时，必须戴防静电工作帽； 2. 电工因工作需进入生产作业区时, 应尽量 在距离防静电保护区 1.5米的区域内活动, 工 作完成后不得在 生产作业区内逗留。 4 ● 5 防静电地板 1. 指定的地板清洁工必须使用防静电拖把来清除 污迹，并使用防静电清洁剂； 2. 防静电地板的传导是通过打蜡来维护的。 ESD 测试人员每周测一次生产作业区地板的电阻值。 对于测试超标的区域，厂务应尽快安排人员进行 打蜡，对打蜡后的效果， ESD测试人员两 天内应 安排时间再次进行测量。 • 3.人身安全 • 工作台面、坐椅等导静电的ESD保护措施均应通过 限流电阻接到地线。 保证减少电击事故。即使有 事故，必须使通过人体的电流低于5mA。 • 4. 部门合作 • 当移动固定货架、工作台等物品时，及时通知厂 房设备部门连接接地线。 4 ● 7 ESDS (静电释放敏感产品)产品的运输 存放和操作器具 1. 在运输和存放 ESDS产品时应使用防静电货架、 防静电推车和防静电周转容器； 2. 防静电货架的表面必须覆盖上防静电垫，并接 地； 3. 运输用的防静手推车和转运车的表面必须覆盖 上防静电垫，并且轮子必须是传导轮； 4 ● 8 腕带检测方法： 1. 把检测仪面板上选择开关换至腕带检测档； 2. 按正确方法佩带腕带； 3. 把腕带插头插入检测仪面板上