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本发明提供了一种新的微型LED巨量转移方法,属于微型LED巨量转移技术领域;解决了目前使用激光无接触转移技术转移LED芯片时胶材容易残留在LED芯片影响转移质量的问题;包括如下步骤:将外延片上的microLED芯片与第一转移基板进行对位粘接,其中第一转移基板设置在外延片下方,在外延片上方还设置有光照模块;通过光照模块上的激光照射microLED芯片,使得microLED芯片与外延片分离,使microLED芯片脱落并粘接到第一转移基板上;在第一转移基板下方放置第二转移基板,对第一转移基板进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116978849 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310832124.5
(22)申请日 2023.07.07
(71)申请人 山西高科视像科技有限公司
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