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一种磁预载结构及具有该结构的直线平台.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种磁预载结构及具有该结构的直线平台.pdf

    本发明公开了一种磁预载结构及具有该结构的直线平台，属于精密加工技术领域，本磁预载结构包括第一基体，第一基体的上方配置有活动配合的气浮台和承载台，承载台设于气浮台的内部，气浮台的内侧配置有气浮轴承；气浮台的侧方配置有第一预载件，用于实现气浮台与第一基体的磁性相吸；气浮台的内侧配置有第二预载件，用于实现气浮台与承载台的磁性相斥。本发明通过第一磁体与第四磁体的配合，以及第二磁体与第三磁体的配合形成磁预载，能够利用磁力确保气浮台受力平衡，控制或确保承载台与气浮台的相对位置，从而进一步确保设备运行的精密度

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116972075 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202311213813.4 (22)申请日 2023.09.20 (71)申请人 无锡星微科技有限公司杭州分公司 地

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