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本发明的一个目的是提供破损少的蒸镀掩模，蒸镀掩模具有：薄膜状的掩模主体；设置在掩模主体的周围的保持框；和连接掩模主体与保持框的连接部件，掩模主体包括：具有第1图案部的第1区域、包围第1区域且具有第2图案部的第2区域；和包围第2区域的第3区域，第1区域和第2区域配置在基准框内。另外，蒸镀掩模的掩模主体的第1区域与第2图案部隔开间隔，此外，蒸镀掩模中，第2区域外接于掩模主体的第1区域的外形。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116970900 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310406122.X
(22)申请日 2023.04.17
(30)优先权数据
2022-074345 202
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