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本发明公开了一种高频响高灵敏度的压阻式加速度传感器，包括上盖、支撑框架、敏感梁、质量块、压敏电阻和下盖。该结构设置四个敏感梁分别位于质量块的四个角，所述敏感梁短而宽，两端采用非对称结构，具体包括T形和Y形，其中短边连接质量块，长边连接支撑框架，敏感梁的两端中部分别布置一个压敏电阻，八个压敏电阻构成惠斯通全桥电路，保证结构一阶固有频率较高的同时灵敏度有大幅提升，由于压阻条的排布，该结构可承受更高的横向冲击，降低了器件的横向灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116973597 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310556197.6
(22)申请日 2023.05.17
(71)申请人 北京智芯传感科技有限公司
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