- 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种加载端口及包括加载端口的基板搬送系统,即使在使具有旋转机构的加载端口的容器的交接位置与不具有旋转机构的加载端口一致的情况下,也能够避免容器旋转时容器与门部等的碰撞。加载端口(4)包括:基座(20),其具有开口部;门部(21),其设于基座,用于开闭开口部;框架,其设置为在与基座正交的前后方向上从基座向前方突出,并支承载置盘;旋转机构,其使载置盘绕铅垂轴线旋转;以及移动机构,在利用OHT将FOUP载置于载置盘之后,且在旋转机构使载置盘旋转之前或者正在旋转的过程中,使门部及载置盘中的至少
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116978843 A
(43)申请公布日 2023.10.31
(21)申请号 202310983662.4
(22)申请日 2017.07.06
(30)优先权数据
文档评论(0)