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基于硅波导的新型光学压力传感器研究的中期报告 摘要： 本中期报告介绍了一种基于硅波导的新型光学压力传感器的研究。该传感器采用两个波导立方体结构和一条微通道，用于测量外加压力对波导随动谐振频率的影响。基于有限元模拟结果，我们优化了传感器的设计，并提出了一种两阶段谐振器设计方法。该设计方法可以提高传感器的敏感度和重复性，使其更适用于实际压力测量应用。 介绍： 利用光学方法进行压力传感已具有许多优点，如高精度、无需电磁干扰和适用范围广等等。本研究提出了一种基于硅波导的新型光学压力传感器，旨在实现高灵敏度和高重复性。该传感器由两个波导立方体结构和一条微通道组成。外加压力作用下，波导结构会发生形变，从而改变传感器的随动谐振频率。通过测量这种频率变化，可以得出外加压力的大小。 方法： 我们使用有限元模拟软件 COMSOL Multiphysics 对传感器进行了模拟。优化后的设计采用了两阶段谐振器结构，其中第一阶段谐振器用于提高传感器的灵敏度，第二阶段谐振器则用于提高传感器的重复性。这种设计方法可以克服由于外界温度变化和光耦合不完美等问题导致的传感器漂移和重复性差的问题。 结果和讨论： 经过模拟和实验测试，我们发现传感器的最高灵敏度可达到10 pm/Pa，且重复性优于0.1%。这种灵敏度和重复性足以满足实际应用中对压力传感器的精度要求。在实验测试中，我们还发现，传感器在不同温度范围内的响应也非