一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质.pdfVIP

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2023-11-01 发布于四川
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一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质.pdf

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本发明公开了一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质，包括：当存在蒸镀异常时，判断是否存在工艺参数异常的蒸发源；若是，控制单个工艺参数异常的蒸发源停机，检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常，以确定出存在蒸镀异常的蒸发源；若否，依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机，检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常，以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。当存在蒸镀异常时，先考虑蒸发源的工艺参数是否异常，在工艺参数正常的情况下，再通过单个蒸发源停机的方式来筛出存在蒸镀异常的蒸发源。整个蒸镀异常检测过程自动化，可以及时检测到蒸镀异常

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116970917 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310939609.4 (22)申请日 2023.07.27 (71)申请人乐金显示光电科技