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一种可变电流的电镀装置.pdfVIP

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  • 2023-11-01 发布于四川
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一种可变电流的电镀装置.pdf

    本发明提供一种可变电流的电镀装置，该电镀装置包括：电镀槽，以及设置在电镀槽内部的一个电镀单元或者依次设置的多个电镀单元，其中，每个电镀单元均包括第一电流区和第二电流区，第一电流区的电流低于第二电流区的电流，且多个电镀单元的电流依次递增。本发明实施例中，通过逐步增加电镀槽中电镀单元的电流，先在低电流区在薄膜上镀上一层金属，这样在高电流区就可以提高电流的耐受能力和导电性能，提高镀膜效率的同时还可以提高镀膜均匀性，避免一次性给薄膜加相同的电流，而导致薄膜烧孔的问题，同时，还可以防止薄膜上面的金属镀层厚

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116971013 A (43)申请公布日 2023.10.31 (21)申请号 202310582111.7 (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人 重庆金美新材料科

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