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基于Talbot效应的高精度长焦距检测系统的校准方法的中期报告 本中期报告主要介绍基于Talbot效应的高精度长焦距检测系统的校准方法的研究进展情况。 首先，我们通过分析Talbot效应原理，设计了一种基于微透镜阵列的Talbot掩模，用于产生空间周期性光场。其制备过程包括利用电子束曝光技术在光刻胶表面制造微透镜阵列，再通过反膜光刻方法将阵列转移到光刻胶厚膜上。最终，用氧气等离子体刻蚀技术将光刻胶厚膜转移形成微透镜阵列式掩模。 接下来，我们搭建了一套基于Talbot效应的高精度长焦距检测系统，其中包括光源、物镜、样品台、CCD相机等主要部件。通过对系统进行校准，我们得出了系统的几何参数和像差参数，以及光源的波长和光强度分布。 然后，我们进行了基于Talbot效应的光学畸变校准实验。该实验使用了一种基于两步相移法的仿射变换算法，通过对不同区域的Talbot图样进行处理，得出了校准后的像素坐标与真实坐标之间的坐标转换关系，并在实验中取得了较好的校准效果。 最后，我们进行了系统精度测试实验。通过使用工程测量仪器对不同物体进行测试，得出了系统的测量误差以及重复性误差，并发现系统的测量误差主要由物镜的球差和像散校准不精确引起。 综上所述，我们通过对基于Talbot效应的高精度长焦距检测系统进行了校准研究，得出了较好的校准效果和系统精度指标，为该系统的实际应用奠定了基础。