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本发明公开了一种防液滴漂移的液滴驱动结构制备方法，包括在衬底上形成绝缘层和导电层交错堆叠的层叠结构；利用光刻方法对所述层叠结构中的导电层进行图形化处理，并配合干法刻蚀或者湿法腐蚀形成驱动电极；对层叠结构中的绝缘层进行局部曝光和固化处理；在经过固化处理后的绝缘层通过退火工艺进行平坦化处理，以在所述绝缘层上形成凹坑结构；在层叠结构最上层的绝缘层上涂覆疏水层并在最上层绝缘层上位于下方绝缘层的凹坑结构的垂直投影位置保形形成用于稳定液滴位置的稳定结构。本发明通过绝缘层上形成凹坑结构并适应性的在疏水层上形成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116984042 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202310789616.0
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 北京机械设备研究所
地址 100
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