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一种图像传感器结构.pdfVIP

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  • 2023-11-04 发布于四川
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一种图像传感器结构.pdf

    本发明公开了一种图像传感器结构，自下而上包括：衬底和介质层；所述衬底上设有第一光敏感器件，所述介质层上设有金属互连层和第二光敏感器件，所述第二光敏感器件设于一沟槽中，所述沟槽位于所述第一光敏感器件上方的所述介质层中，所述第二光敏感器件通过所述沟槽耦合所述第一光敏感器件，并通过所述金属互连层引出。本发明能有效提高光吸收的效率，以及满阱容量等传感器性能，并能够大幅度提升对近红外光的吸收效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112133716 A (43)申请公布日 2020.12.25 (21)申请号 202010856889.9 (22)申请日 2020.08.24 (71)申请人 上海集成电路研发中心有限公司

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