1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

形成图案化的材料层的方法和设备.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约3.27万字
  • 约 26页
  • 2023-11-04 发布于四川
  • 举报

形成图案化的材料层的方法和设备.pdf

    本发明公开用于形成图案化的材料层的方法和设备。在一种布置中，在沉积过程期间利用具有小于100nm的波长的电磁辐射来辐照衬底的表面的选定部分。此外，电场控制器被配置成施加被定向以便迫使二次电子远离所述衬底的电场。所述辐照在选定区中局部地驱动所述沉积过程且由此使所述沉积过程以由所述选定部分限定的图案形成材料层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111837074 A (43)申请公布日 2020.10.27 (21)申请号 201980016708.7 S ·F ·乌伊斯特尔　

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >