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图案化基底的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-11-04 发布于四川
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图案化基底的制备方法.pdf

    本申请涉及用于制备图案化基底的方法。根据本申请的方法，在将嵌段共聚物的自组装图案转印到基底上以形成图案的过程中，可以将嵌段共聚物的自组装图案有效且精确地转印到基底上以制备图案化基底。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111065965 A (43)申请公布日 2020.04.24 (21)申请号 20188

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