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- 2023-11-04 发布于四川
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本发明提供了一种镀膜治具及镀膜方法，涉及溅射镀膜技术领域，本发明提供的镀膜治具包括：承载组件和压片组件，承载组件设有外凸圆柱面，压片组件与承载组件可拆卸地连接；当压片组件与承载组件连接时，压片组件抵接外凸圆柱面，且沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲；压片组件用于连接可弯曲变形的镀膜基片，并使镀膜基片沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲，本发明提供的镀膜治具缓解了使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题，能够使镀膜基片的镀膜面由平面转变为圆柱面，有利于降低镀膜散差，提高大尺寸镀膜基片的成片率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110106482 A
(43)申请公布日
2019.08.09
(21)申请号 20191
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