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- 2023-11-04 发布于四川
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本公开提供了一种氧化物功能化的石墨烯气体传感器，包括基片、石墨烯层和电极，其中所述石墨烯层形成于所述基片表面，所述电极包括源电极和漏电极，分别形成于所述石墨烯层的两端，所述气体传感器还包括：氧化物材料层，形成于所述石墨烯上。本公开还提供了该气体传感器的制备方法及应用该气体传感器进行气体检测的方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116990356 A
(43)申请公布日 2023.11.03
(21)申请号 202210441098.9
(22)申请日 2022.04.25
(71)申请人 清华大学
地址 100084
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