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本实用新型公开了一种MEMS光谱芯片晶元检测装置，包括：供电电源、图像采集识别器、MEMS光谱芯片晶元及灯光发射器；MEMS光谱芯片晶元上设置有多颗光谱MEMS可调法珀腔芯片；图像采集识别器和灯光发射器位于MEMS光谱芯片晶元同侧；灯光发射器用于给MEMS光谱芯片晶元提供稳定且均匀的准直近红外光；图像采集识别器用于拍摄获取MEMS光谱芯片晶元上各颗光谱MEMS可调法珀腔芯片在供电情况下的状态，并进行图像分析及结果展示；供电电源分别为图像采集识别器、MEMS光谱芯片晶元、灯光发射器供电。本实用新型
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219957786 U
(45)授权公告日 2023.11.03
(21)申请号 202321439294.9
(22)申请日 2023.06.07
(73)专利权人 四川启睿克科技有限公司
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