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电感式传感器 电感式传感器 电感式传感器是基于电磁感应原理，将输入量转换成线圈自感和互感变化量的一种装置。常配以不同的敏感元件用来测量位移、压力、振动、流量、比重等物理参数。 电感式传感器 优点：结构简单、可靠，测量力小（衔铁重为（0.5~200）×10-4N时，磁吸力为（1~10） ×10-4N）；分辨率高，可测量机械位移0.1μm，角位移0.1角秒；输出信号强，电压灵敏度达数百毫伏每毫米，有利于信号传输与放大。重复性好，线性度优良。 缺点：存在交流零位信号不宜于高频动态信号测量 自感L与气隙δ成反比，而与气隙导磁截面积A成正比。W——线圈匝数，μ0——空气磁导率。变磁阻式自感传感器 变气隙式自感传感器 变面积式自感传感器 也可认为是有效线圈匝数变化引起自感变化。螺管式自感传感器 螺管式自感传感器 特点：线圈中段灵敏度最高，线性度最好；由于空气间隙大，磁路磁阻高，灵敏度低，但线性范围大；测量范围：5~50mm，非线性误差在±5%左右；易受外部磁场干扰；线圈分布电容大；线圈框架尺寸和形状稳定性要求高。 两个结构完全相同的自感线圈组合在一起形成差动结构，可提高灵敏度，改善输出特性的非线性，实际中常用。差动测量系统 差动测量系统 差动式电感传感器工作原理及输出特性 差动测量系统 差动测量系统 ，间隙改变量与 呈理想线性关系 差动测量