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热激励微机械谐振器闭环自激检测电路研制的中期报告 热激励微机械谐振器（thermally excited microscale resonators，TEMR）被广泛应用于传感器和振荡器等微电子设备中。为了保证TEMR的可靠性和精度，需要实时监测其性能和状态。因此，本研究旨在研制一种闭环自激检测电路，以实现TEMR的实时监测和控制。 本期研究主要完成了以下几个工作： 1.设计了一种基于放大器电路的闭环自激检测电路。该电路由有源滤波器、积分放大器、差分放大器和驱动电路等部分组成，可以在几千赫兹频率范围内实现TEMR的自激振荡。 2.通过仿真和实验测试，验证了闭环自激检测电路的可行性和性能。实验结果表明，该电路可以准确地检测TEMR的振荡频率和振幅，并且可以自动调节驱动电压以保持TEMR的振荡状态。 3.优化了闭环自激检测电路的设计方案，提高了TEMR的控制精度和稳定性。通过改进差分放大器的电路结构和增加反馈电路的设计，可以有效地减小电路中噪声和干扰，从而提高TEMR的信噪比和稳定性。 下一步工作将着重优化闭环自激检测电路的性能和稳定性，研究其在实际应用中的效果和可行性。同时，将探索基于该电路的TEMR传感器和振荡器的应用场景，以期在微电子领域中取得更大的突破和应用价值。