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本发明涉及高精密机械加工技术领域，具体为一种高轮廓精度的改进H型气浮运动平台，包括X轴导轨，所述X轴导轨设置于基座的上方，所述工作台安装在X轴导轨上，所述X轴导轨的两侧表面设置有X气浮滑块，所述X轴导轨的下方设置有真空预压气浮轴承，所述真空预压气浮轴承通过X气浮滑块与工作台连接设置；X轴是单直线电机驱动，Y轴是双直线电机同步驱动，两轴呈H型布局分布，本发明通过优化机械部件受力分析和增设真空预压气浮轴承，实现了气浮平台中X、Y两轴方向的二维运动都是以运动基准面为导向，克服了传统堆叠式运动平台由于X
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117001619 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202310801969.8
(22)申请日 2023.07.03
(71)申请人 菁品科技（韶关）有限公司
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