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本申请提供一种介电常数可变的压力传感器模拟系统的设计方法,设定所述绝缘层的介电常数可变,以ε(r)表征所述绝缘层上与圆心距离r处位置的相对介电常数,构建所述基础模型在接触状态下输出电容的表达式,其中所述输出电容包括接触区域输出电容和未接触区域输出电容,以接触区域输出电容与压力线性变化为条件,推导所述相对介电常数ε(r)的表达式;然后根据ε(r)设定所述绝缘层上任意位置处的介电常数,该种设计使得所述压力传感器可以提高接触区域输出电容的线性度,同时改善了非接触区域输出电容的线性度,使得压力传感器整体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117007215 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202310898866.8
(22)申请日 2023.07.21
(71)申请人 湖南大学
地址 410082
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