预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法.pdfVIP

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2023-11-08 发布于四川
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预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法.pdf

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本发明公开了一种预防半导体光刻胶物料存储选用错误的管理系统和方法，涉及智能设备及管理技术领域。该管理系统包括进出口、设于中间位置的中央处理单元，还包括输送道、冷藏室、扫描单元和存取单元。输送道以中央处理单元为圆心向外发散设置，每条输送道上均设有可正反两个方向运输物料的传送带；冷藏室，平行于输送道分布在输送道的两侧。本发明能够对光刻胶物料的存储和取用进行更规范化、流程化的管理，整个存储和取用过程无需人工记录，避免发生光刻胶物料的混用，提升管理效果，极大程度上降低物料取用出错的可能性，降低因员工操作

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117002907 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311027683.5 G06Q 50/28 (2012.01) (22)申请日 2023.08.