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- 2023-11-08 发布于四川
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一种掩膜版清洗方法及系统，清洗系统包括：掩膜版清洗装置，用于承载掩膜版，并通过清洗液对所述掩膜版进行清洗；电流产生组件，用于在清洗液内通入电流。利用产生的电流能中和掩膜版表面和污染物颗粒表面的电荷，使得掩膜版表面和污染物颗粒表面呈现电中性，进而降低掩膜版和污染物颗粒之间的吸附作用，提升清洗效率和良率。清洗方法包括：提供掩膜版，表面具有污染物颗粒；提供掩膜版清洗装置，用于承载掩膜版并容纳清洗液；在清洗液内通入电流。通过在清洗液内通入电流。利用电流能中和掩膜版表面和污染物颗粒表面的电荷，使得掩膜版表
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117012615 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202210476440.9
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 中芯国际集成电路
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